高頻壓力傳感器一般是利用半導體硅極高的楊氏彈性模量和優良的力學特性制成，使傳感器具有很高的固有頻率，結合內外部結構設計，減小了頻率損耗。從而獲得很高的響應頻率和上升時間，是測量高頻動態壓力的理想產品。

在選擇高頻壓力傳感器的時候我們要考慮它的綜合精度，而壓力傳感器的精度受哪些方面的影響呢?其實造成傳感器誤差的因素有很多，下面我們注意說四個無法避免的誤差，這是傳感器的初始誤差。

首先的偏移量誤差：由于高頻壓力傳感器在整個壓力范圍內垂直偏移保持恒定，因此變換器擴散和激光調節修正的變化將產生偏移量誤差。

其次是靈敏度誤差：產生誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值，靈敏度誤差將是壓力的遞增函數。如果靈敏度低于典型值，那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數。該誤差的產生原因在于擴散過程的變化。

第三是線性誤差：這是一個對高頻壓力傳感器初始誤差影響較小的因素，該誤差的產生原因在于硅片的物理非線性，但對于帶放大器的傳感器，還應包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線，也可以是凸形曲線稱重傳感器。

最后是滯后誤差：在大多數情形中，壓力傳感器的滯后誤差完全可以忽略不計，因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。

高頻壓力傳感器的這個四個誤差是無法避免的，我們只能選擇高精度的生產設備，利用最新技術來降低這些誤差，還可以在出廠的時候進行一定的誤差校準，盡最大的可能來降低誤差以滿足客戶的需要。